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三氯乙烯：清洗不穩定，與空氣或氧氣接觸時產品易被氧化，溫度升高或紫外光下更快，對環境污染有嚴重危害，在水生物中可產生蓄積，短時內接觸（吸入、經皮或口服）大量該品可引起急性中毒。吸入極高濃度可迅速昏迷。吸入高濃度后可有眼和上呼吸道刺激癥狀。接觸數小時后出現頭痛、頭暈、酩酊感、嗜睡等，重者發生譫妄、抽搐、昏迷、呼吸麻痹、循環衰竭。可出現以三叉神經損害為主的顱神經損害，心臟損害主要為心律失常。可有肝腎損害。口服消化道癥狀明顯，肝腎損害突出。遇到明火，紫外光燃燒后會產生有毒光氣和腐蝕性的鹽酸煙霧等。

二氯甲烷：二氯甲烷具有麻醉作用，主要損害中樞神經和呼吸系統。少量吸入可對鼻子及喉嚨造成輕微刺激。短時間吸入較高濃度的二氯甲烷可能導致頭暈、頭痛、惡心、嘔吐、手腳麻木、疲勞、協調性降低以及眼和上呼吸道刺激癥狀，高濃度暴露可能導致共濟失調、意識喪失甚至死亡。長期吸入較高濃度的二氯甲烷會造成肝及腎的損傷，還有報告指出一直暴露于含量為0.5‰～3.6‰的二氯甲烷環境中會造成腦損傷。

溴丙烷：長期溴丙烷會出現頭痛、睡眠障礙、眩暈和視力模糊，之后出現步態蹣跚，足、腿部和臀部以及下背部麻木、感覺異常、震動覺降低、腹瀉和排尿困難等表現。受高熱分解產生有毒的溴化氫氣體，對工件有腐蝕。
在工業清洗領域使用的清洗劑中，ODS（破壞臭氧層物質）清洗劑占有很大比重，特別是在精密清洗中，三氟三氯乙烷（CFC-113）和 1.1.1-三氯乙烷被稱為“最好的清洗劑”而倍受歡迎。隨著人們對環境保護和人身健康的關心和重視，尋找新的替代品以淘汰ODS清洗劑已成為當務之急。為此，全世界政府部門、科技人員和相關企業做出了巨大投入，各種替代產品和替代技術應運而生。從經濟、適用、安全、環保等方面綜合平價，碳氫清洗劑是極具前景的ODS替代品。